Китайская компания SMEE запустила серийное производство литографических установок SSC800 и SSB800. По данным TrendForce, оборудование более чем на 90 процентов состоит из компонентов местного производства, а общий объем обработанных на нем кремниевых пластин превысил 10 миллионов штук.
Модель SSC800 использует технологию KrF DUV для выпуска микросхем по техпроцессам от 110 нм, включая чипы для ИИ и памяти. Установка SSB800 работает по технологии I-line для норм от 280 нм, что подходит для производства силовых, аналоговых полупроводников и MEMS-компонентов.
Системы оснащены китайской проекционной оптикой и двухпозиционной системой обработки пластин. Производительность и точность совмещения слоев оборудования близки к зарубежным аналогам, а показатель доступности техники превышает 92 процента. Установки уже работают на крупных предприятиях КНР.
Компания SMEE основана в 2002 году и является единственным китайским поставщиком серийных установок сухой проекционной литографии. С декабря 2022 года производитель находится в списке экспортных ограничений США. Новинки были представлены на выставке CIIE в Шанхае.
