Ученые Новосибирского государственного технического университета разработали технологию производства приборов вакуумной микроэлектроники. В таких устройствах электроны перемещаются через миниатюрный вакуумный канал, что отличает их от стандартных полупроводников.
Разработка ведется в рамках программы «Приоритет-2030». Компоненты устойчивы к радиационному излучению, высоким температурам и резким температурным перепадам. Эти свойства позволяют использовать приборы в аппаратуре космического и оборонного назначения.
Университет уже изготовил рабочий макет устройства с вертикальным вакуумным каналом. Транзисторы и диоды обладают низким пороговым напряжением и простой конструкцией. Они могут применяться для создания мощных систем радиосвязи и радиолокации.
Специалисты работают над компонентами с наноразмерными зазорами и наноантеннами для терагерцового диапазона. На технологию изготовления подана заявка в Роспатент для правовой защиты разработки, предназначенной для работы в условиях экстремальных нагрузок.
