Компания Canon анонсировала выпуск литографической установки FPA-6400ES6a, предназначенной для производства логических и запоминающих микросхем. Продажи оборудования начнутся в начале декабря 2026 года.
Устройство оснащено новым приводом с повышенным ускорением, что обеспечивает производительность на уровне 400 пластин в час. Благодаря технологиям подавления вибраций и стабилизации температуры, система достигает точности совмещения слоев в 4,0 нм.
В систему добавлена опциональная технология Hi-ALS, позволяющая подбирать длину волны для точного позиционирования в разных процессах. Установка также поддерживает работу с пластинами, имеющими коробление до 700 мкм, за счет регулировки вакуумного прижима.
Для снижения энергопотребления инженеры внедрили систему рекуперации энергии, которая накапливает электричество при замедлении привода и использует его при ускорении. Повышенная эффективность питания позволяет сократить расход энергии на каждую обработанную пластину.
