Проект Terafab Илона Маска может получить первую установку для EUV-литографии ASML Twinscan NXE в середине 2027 года. При этом строительство корпуса предприятия завершится лишь в конце 2027 года, а монтаж оборудования начнется после этого, что приведет к простою техники.

Tesla начала строительство полупроводникового предприятия в кампусе Giga Texas в апреле 2026 года. Возведение здания займет 15 месяцев, еще полгода потребуется на установку систем для экспериментального производства чипов и подготовку персонала.

SpaceX выбрала площадку для завода Terafab в округе Граймс в августе 2026 года. По оценкам аналитиков, строительство первой очереди займет 20 месяцев, оснащение — 17 месяцев, а выход на проектную мощность — 6 месяцев. Запуск предприятия ожидается в конце 2029 года.

Завод Terafab планирует использовать техпроцесс Intel 14A, совместимый с EUV-сканерами типов Low-NA и High-NA. Предприятие будет выпускать чипы исключительно для нужд Tesla и SpaceX, что позволит компенсировать затраты на производство за счет использования собственных мощностей.