К началу 2026 года китайские производители чипов накопили 343 установки иммерсионной DUV-литографии от ASML. По данным Center for Technology and National Security Policy, в парк входят 270 систем Twinscan NXT:1980i, 28 современных моделей NXT:2050i и NXT:2100i, а также 45 установок предыдущих поколений.

В 2024 и 2025 годах Китай импортировал 90 и 89 систем NXT:1980i соответственно. Совокупные затраты на закупки за этот период превысили $13 млрд. Оборудование NXT:1980i позволяет выпускать 7-нм логические микросхемы и высокоскоростную память HBM2e, применяемую в ИИ-ускорителях Huawei Ascend.

Согласно оценкам экспертов, одна установка NXT:1980i при наличии вспомогательного оборудования способна выпускать более 100 000 чипов уровня Ascend 910C в год. Текущего парка оборудования достаточно для поддержки производства 7-нм микросхем в течение нескольких лет, что перекрывает текущие потребности отрасли.

Доля Китая в поставках иммерсионных DUV-систем ASML значительно увеличилась. Показатель вырос с 26 процентов в 2022 году до 60–70 процентов в период с первого квартала 2024 года по первый квартал 2026 года.