Компания ACM Research Shanghai отправила заказчику за пределами материкового Китая первую серийную установку для горизонтальной гальваники на уровне панелей UltraECP ap-p с размером 310 на 310 миллиметров.
Оборудование поддерживает работу с медью, никелем, оловом, серебром и золотом. Камера меднения оснащена высокоскоростными лопастями для формирования медных столбиков высотой 300 микрон, что обеспечивает высокую скорость процесса и равномерность кристаллической структуры.
Система использует четырехсторонний герметичный сухой контактный патрон для повышения надежности. Встроенная функция очистки внутри камеры минимизирует риск перекрестного загрязнения химикатами между этапами обработки.
Технология базируется на запатентованном решении, объединяющем синхронно вращающийся патрон и вращающееся прямоугольное электрическое поле. Это позволяет достичь высокой равномерности толщины металлической пленки на крупногабаритных подложках.
